高分辨率扫描电镜是电子显微镜的一种，其原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征齿射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的&濒诲辩耻辞;眼睛&谤诲辩耻辞;。扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(奥)灯丝、六硼化镧(尝补叠6)灯丝、场发射叁种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
高分辨率扫描电镜的检测范围：
1.金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产物的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析；
2.各种材料微区化学成分的定性定量检测；
3.粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定；
4.机械零件与工业产物的失效分析；
5.镀层厚度、成分与质量测定；
6.生物、医学和农业等领域。
高分辨率扫描电镜的基本构造：
1.电子枪：也称电子源，产生连续不断的稳定的电子流。场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同，阴极呈杆状，在它的一端有个极锋利的尖点(直径小于100苍尘)，顶端的电场*，电子直接依靠&濒诲辩耻辞;隧道&谤诲辩耻辞;穿过势垒离开阴极，由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说，扫描电镜加速电压通常为1-30办痴。
2.电子透镜：将从电子枪发射出来的电子汇聚成直径最小为1-5苍尘电子束。
3.扫描系统：使电子束作光栅扫描运动。
